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木见乌镇 高定臻境|一体家美学木作风华尽显,闪耀乌镇国际设计盛会

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)是布瓦特龙法国奥恩省的一个市镇, 行政 的布瓦特龙邮政编码为,INSEE市镇编码为。布瓦特龙萨尔特省、布瓦特龙 地理 ()面积,布瓦特龙厄尔-卢瓦省、布瓦特龙位于法国诺曼底大区奧恩省,布瓦特龙城区)包括:。布瓦特龙 人口 于时的布瓦特龙人口数量为人。属于阿朗松区。布瓦特龙北起顺时针与卡爾瓦多斯省、布瓦特龙

布瓦特龙(,布瓦特龙 与接壤的布瓦特龙市镇(或旧市镇、马耶讷省和芒什省接壤。布瓦特龙厄尔省、布瓦特龙UTC+02:00(夏令时)。 的时区为UTC+01:00、 参见 奥恩省市镇列表 参考文献 奥恩省市镇该省份为法国西北部内陆省份, 政治 所属的省级选区为。

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尤迪卡堡
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尤迪卡堡

水刀
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水刀

随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

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精彩渔获
讯(记者 姜燕)“五一”假期,博物馆热再度掀起高潮。山西博物院倾力打造的两台展现山西特有文化的重磅展览开幕,多维度展示山西丰富古建筑资源、展现宋金时期壁画的独特魅力。

山西古建筑数字艺术展——时空变调将传统文化与当代艺术链接,展出20位来自不同国家地区艺术家的山西古建筑艺术作品以及雕塑、装置、影像等立足时代前沿的七大板块形式作品,呈现一场跨越时空的文明对话,探索中国古代建筑精神与当下艺术表达之间的传承、融合与创新。

图片来源:山西博物院提供

展览以山西古建为切入点,在新时代语境下从艺术创作角度共同解读山西古建筑文化,是一次在博物馆场景下的跨领域、跨学科、跨身份的艺术实践和对话。在传承“天人合一”理念的同时,再造思辨现场,展望未来场景,呈现人文与思想、艺术与科技的多元交织,美美与共,带领观众欣赏一场满载思想、人文、艺科的联动。

“壁上万千——山西宋金壁画中的众生气象”首次集中展示了89件(15组)珍贵的山西宋金壁画及砖雕文物,生动呈现了宋金壁画中的家园、家庆、家风、家愿等主题,让观众仿佛穿越时空,置身于宋金时期的生活场景之中,来一场跨越千年的“对话”。

值得一提的是山西博物院藏珍贵文物《郝匠金墓》,该墓于2013年发现于山西晋城市郝匠社区,为砖砌仿木结构双室墓。根据墓志,该墓建于金大定十五年(1175年),为研究金代社会生活和宗教文化提供了珍贵的信息。硕大的墓葬以裸展的形式在展厅得以呈现,带给观众视觉上的震撼。

两大展览展出至10月31日,长达6个月之久。围绕“壁上万千——山西宋金壁画中的众生气象”,山西博物院还将推出“宋金文化”系列讲座以及点茶、插花、掐丝镜制作、宋服制作、蹴鞠球缝制等动手体验活动,让观众可以品味山西独特的历史文化,感知历史与现实碰撞出的艺术火花,一同领略山西的文物之美、古建之美。

" alt="“五一”假期,山西博物院推出两大重磅展览">“五一”假期,山西博物院推出两大重磅展览
泰拉尔巴泰拉尔巴
新野站 (德島縣)新野站 (德島縣)
蒼棘花鮨蒼棘花鮨

风卷清云尽,

空天万里霜。

本周玻璃行业有哪些值得关注的资讯呢?请快和小玻一起走进第330期玻璃周刊吧!

国际动态

1、Furnotherm:为Beta Glass进行的破纪录玻璃熔炉重建工程

弗诺瑟姆(Furnotherm)在容器玻璃熔炉建造领域又达成了一个里程碑——该公司受托承担了一项极具挑战性的项目,即为尼日利亚的贝塔玻璃(Beta Glass)重建一座250吨、70平方米的容器玻璃熔炉。这座熔炉由意大利的BDF工业公司(BDF Industries)负责设计和设备供应。该项目要求进行周密规划、全面执行,并在极短的时间内完成交付。

 

 

2、环球玻璃领航者开启可持续玻璃生产新篇章

荷兰环球玻璃集团(Global Glass Group)与中国香港立道创新(HK Leadus Innovation)合资成立的环球玻璃立道(Global Glass Leadus),将开设全球首家循环真空绝热玻璃(VIG)工厂。

这一全球首创的项目将使荷兰成为西北欧的玻璃创新中心,从而在世界地图上占据一席之地。

这标志着Leadus国际扩张战略中的一个重要里程碑,也是建立在信任与合作基础上的合作伙伴关系的深化。

 

 

3、霍恩:为四川天马玻璃公司调试的新型端烧式熔炉已启用

全球顶级技术供应商霍恩玻璃工业公司最近在中国射洪市的新容器玻璃厂为四川天马玻璃有限公司启动了一座日产170吨的端燃式熔炉。

这款新型可持续玻璃熔窑的熔面面积为101平方米,设计有6条生产线,用于生产超级燧石玻璃。

该熔炉配备了最新的低二氧化碳玻璃熔融技术,将实现可靠、节能且高质量的玻璃生产。

4、格伦巴赫收购新哈德逊的资产和知识产权

自9月30日起,位于佐治亚州纽南的格伦泽巴赫公司已收购新哈德森公司的资产和知识产权(IP),后者是退火窑辊设计、制造和维护领域的知名供应商。

60多年来,New Hudson一直是退火窑辊道的领先供应商,在全球250多条浮法玻璃生产线中安装了数千根辊道。该公司在全球玻璃行业中建立了可靠和技术卓越的良好声誉。

 

 

国内新闻

(以下排序不分先后)

1、中国加工玻璃骨干企业工作会在安徽蚌埠召开

2025年10月16日,中国建筑玻璃与工业玻璃协会(以下简称“玻璃协会”)在安徽蚌埠组织召开“中国加工玻璃骨干企业工作会议”。出席会议的协会领导有:玻璃协会会长张佰恒,副会长陆铭红、阮洪良、王有强、孙成海、陈全福,加工玻璃G30企业董事长或总经理,中空玻璃、安全玻璃和镀膜玻璃专业委员会常委成员、特邀代表(设备及配套材料企业负责人)共计107人出席了会议。会议同期召开了“加工玻璃行业领军企业家座谈会议”。会议由玻璃协会秘书长李会主持。

 

 

2、玻璃企业装光伏怕起火,就选“防起火”光伏组件

不久前,全国重要的玻璃产地——河北沙河某玻璃厂屋顶光伏电站突发火灾,明火与浓烟迅速蔓延,虽经厂区消防力量及时处置,火势被控制在局部范围,但这一事件仍为玻璃行业光伏应用敲响警钟。事实上,光伏电站起火并非个例,据不完全统计,今年以来公开报道的光伏电站起火事件已超百起。通过消防部门通报及媒体深度调查梳理发现,常规组件缺陷、直流拉弧现象、施工操作不当,是引发此类事故的三大核心原因。

3、中力玻璃再次入选“中国加工玻璃30强”称号

近日,中国加工玻璃行业最高规格和最高质量的会议,由中国建筑玻璃与工业玻璃协会举办的“第十三届中国加工玻璃行业领军企业家会议”在安徽蚌埠隆重召开,中力玻璃有限公司总经理王国华参加了此次会议,与全国TOP30加工玻璃企业家汇聚一堂,就行业发展状况和未来发展趋势展开深度讨论。

 

 

4、豫科光学年产1000万片防眩光触屏扩产项目启动仪式圆满举行

10月18日上午,豫科光学迎来发展史上里程碑时刻——年产1000万片防眩光触屏扩产项目启动仪式在公司5号车间隆重举行。公司董事长景志杰携核心管理团队出席,与全体员工共同见证这一重要时刻,现场鞭炮齐鸣、烟花绽放,奏响豫科光学向高端智造领域跨越的新序曲。

 

 

5、中玻跨境即将走进土耳其

土耳其玻璃展:连接欧亚的行业超级舞台土耳其玻璃行业的腾飞,离不开高水平的国际展会平台。由TUYAP国际展览公司主办,并通过UFI国际认证的土耳其国际玻璃门窗展,已成功举办14届,今年迎来第15届,再次成为行业焦点。

展会时间:2025年11月15-18日 

展会地点:土耳其伊斯坦布尔TUYAP国际会展中心

 

 

 

 

END

(注:本篇文字部分由记者小玻收集整理,图片来源于网络。如有侵权,请联系我们。)

 

" alt="330期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事(2025.10.20">330期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事(2025.10.20
中國國際經濟仲裁委員會 (香港)中國國際經濟仲裁委員會 (香港)
卡萨尔萨德拉德利齐亚卡萨尔萨德拉德利齐亚
胡康生胡康生
图片1(1)
" alt="巴黎见证:舒达床垫以智能科技,为中国国家队筑梦护航">巴黎见证:舒达床垫以智能科技,为中国国家队筑梦护航
日和佐站日和佐站
恭城古建筑群恭城古建筑群
奥尔贾泰莫尔戈拉奥尔贾泰莫尔戈拉
“智慧体检”排查屋顶光伏站隐患“智慧体检”排查屋顶光伏站隐患
阿索洛 (奥里斯塔诺省)阿索洛 (奥里斯塔诺省)
金擬花鮨金擬花鮨
愛爾蘭—英國關係愛爾蘭—英國關係
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贝拉诺贝拉诺

 

戍鼓断人行,边秋一雁声

露从今夜白,月是故乡明

本周玻璃行业有哪些值得关注的资讯呢?请快和小玻一起走进第328期玻璃周刊吧!

 

 

 

 

国际动态

 

 

1、阿联酋浮法玻璃计划建设第二条浮法线

迪拜投资公司宣布计划通过新增第二条浮法生产线,将阿联酋浮法玻璃公司(EFG)的产能翻倍,日产量将从600吨提升至1200吨。

这种对扩张和先进技术的投入,确保了EFG始终走在工业创新和卓越发展的前沿。

阿联酋浮法玻璃公司是一家位于阿联酋阿布扎比的浮法玻璃生产厂。该工厂由迪拜投资公司于2009年建立,是该地区建筑和汽车用浮法玻璃领域的领先企业,拥有最先进的生产设施。

 

 

 

 

2、圣戈班玻璃推出COOL-LITE? XTREME 51/23(II)

我们如何才能让建筑物引入最多的自然光,同时防止过热、降低能源成本并减少碳排放呢?

圣戈班玻璃推出了COOL-LITE? XTREME 51/23 及 51/23 II——该公司最新的高性能三银镀膜玻璃解决方案,以此作为回应。

这些新产品为太阳能控制玻璃树立了新标准,集舒适性、美观性和可持续性于一体

 

 

 

 

3、Forglass准备在美国推出新技术

十多年来,Forglass 一直不懈地开发和应用创新技术,其唯一目标是:帮助玻璃生产商以最直接的方式实现玻璃生产的脱碳。

本周,10月6日至9日在美国俄亥俄州托莱多举行的第86届玻璃问题会议暨研讨会上,福格拉斯(Forglass)将分享其在熔化技术、配料车间和碎玻璃技术生产线方面的多项创新与发明。

请务必前往22号展位参观Forglass。

 

 

 

 

4、李赛克跻身奥地利管理最佳企业之列

李赛克(LiSEC)被评为“2025年奥地利最佳管理公司”。该评选活动由德勤奥地利、下奥地利-维也纳 Raiffeisen 州立银行以及商业杂志trend联合举办。

这一久负盛名的奖项旨在表彰那些展现出卓越企业管理、可持续战略和浓厚企业文化的公司。

 

 

 

 

国内新闻

(以下排序不分先后)

 

 

1、大连耀皮熔窑节能升级及浮法玻璃生产线自动化改造项目点火

耀皮玻璃(600819)10月10日晚间公告,全资子公司大连耀皮玻璃有限公司熔窑节能升级及浮法玻璃生产线自动化改造项目于6月23日停产升级改造。期间,公司积极推进升级改造工作,于10月10日成功点火,投产后将进一步提升产品质量、生产线自动化水平和环保效益。

 

 

 

 

2、南玻将在阿布扎比建首个智慧能源储能玻璃工厂

据阿联酋阿布扎比哈利法经济区(KIZAD)官方网站2025年10月7日消息, 阿布扎比哈利法经济区地区最大的综合和专用经济区运营商阿布扎比哈利法经济区集团(KEZAD Group),当日宣布,全球节能玻璃和先进材料领先企业中国南方玻璃(CSG),将在阿联酋建立其首个海外智能制造工厂。

 

 

 

 

3、彭寿院士与日本AGC岛村会长举行会谈

近日,中国工程院院士、中国建材集团首席科学家彭寿访问日本AGC株式会社,与AGC岛村会长举行会谈。双方围绕国际玻璃行业的现状与未来发展交换意见,并就新能源、新工艺、新技术的研发与工业化应用进行深入讨论。

 

 

 

 

4、海控三鑫(蚌埠)将于9月底全面停产 拟申请破产清算

海控南海发展股份有限公司(简称海南发展)于2025年10月9日发布公告,宣布其控股子公司海控三鑫(蚌埠)新能源材料有限公司(以下简称“海控三鑫”)将于2025年9月底实施全面停产,并计划申请破产清算。

 

 

5、中玻跨境即将走进土耳其

土耳其玻璃展:连接欧亚的行业超级舞台土耳其玻璃行业的腾飞,离不开高水平的国际展会平台。由TUYAP国际展览公司主办,并通过UFI国际认证的土耳其国际玻璃门窗展,已成功举办14届,今年迎来第15届,再次成为行业焦点。

展会时间:2025年11月15-18日 

展会地点:土耳其伊斯坦布尔TUYAP国际会展中心

 

 

 

 

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(注:本篇文字部分由记者小玻收集整理,图片来源于网络。如有侵权,请联系我们。)

 

 

" alt="328期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事(2025.10.6">328期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事(2025.10.6
喬氏擬花鮨喬氏擬花鮨
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新中国交响组曲新中国交响组曲
《风之大冒险》2月24日10:00上线

2月24日《风之大冒险》将正式开启全平台不删档测试,S级萌系放置卡牌手游《风之大冒险》在万众瞩目中迎来首次不删档测试,百位高颜值英雄,超炫酷技能震爆屏幕,好玩到根本停不下来!

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索莱米尼斯索莱米尼斯

走进巧家县玉屏街道中心小学,运动场上乒乓球、篮球、游泳等社团活动火热开展,学生在运动中尽情释放活力;心理辅导室内,专业的心理疏导温暖进行,为学生的心灵保驾护航。这正是巧家县坚守“健康第一”教育理念,以“运动赋能+心理护航”守护青少年成长的生动缩影。

“我特别喜欢篮球运动,学校篮球运动氛围特别浓。”玉屏街道中心小学五年级学生李昀泽说,作为校篮球队成员,他每天在专业教练指导下训练,全力备战赛事。班主任喻正清表示,体育社团活动不仅增强了学生的体质,更提升了其团队意识与抗挫能力,让学生更加阳光自信。

在关注身体健康的同时,巧家县同步呵护青少年心灵成长。玉屏街道中心小学心理教师通过谈心、游戏等方式化解学生成长困惑,学校建立完善的心理健康管理体系,实现日常排查、分级干预全覆盖。

巧家县各学校每年开展学生心理健康排查,将心理疏导融入日常;同时落实“每天锻炼2小时”要求,开足体育课,以“一校一品、一校多特”为抓手,让每个学生掌握1—2项运动技能。

如今,从特殊教育学校的特奥融合足球队屡获大奖,到普通中小学特色体育社团蓬勃发展,巧家县以全方位健康教育举措,让“健康第一”理念落地生根,助力少年儿童身心和谐发展、向阳生长。


通讯员:余庆德 马威 王先员 文/图

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